雅馬拓YAMATO高頻等離子清洗機表面清潔機

簡要描述：廣州金程科學儀器公司供應的雅馬拓YAMATO等離子清洗機V1000/V1000X/V1000XS，13.56MHz高頻輸出的等離子清洗機，搭載RIE·DP 雙模式。硅晶圓的灰化及蝕刻、基板表面污垢處理、IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理、半導體相關部品的電子材料的干式清洗、自然氧化膜·有機物去除、界面活性處理、表面污染物去除。雅馬拓YAMATO高頻等離子清洗機表面清潔機

產品型號：V1000/V1000X/V1000XS
廠商性質：代理商
更新時間：2025-08-07
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等離子表面處理儀

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品牌	YAMATO/日本雅馬拓	產地類別	國產
應用領域	電子/電池,電氣

廣州金程科學儀器公司供應的雅馬拓YAMATO等離子清洗機V1000/V1000X/V1000XS，13.56MHz高頻輸出的等離子清洗機，搭載RIE·DP 雙模式。硅晶圓的灰化及蝕刻、基板表面污垢處理、IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理、半導體相關部品的電子材料的干式清洗、自然氧化膜·有機物去除、界面活性處理、表面污染物去除。

雅馬拓YAMATO高頻等離子清洗機表面清潔機

儀器特點：

硅晶圓的灰化及蝕刻。

基板表面污垢處理。

IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理。

半導體相關部品的電子材料的干式清洗。

自然氧化膜·有機物去除。

界面活性處理。

表面污染物去除。

型號	V1000	V1000X	V1000XS
等離子模式	DP/RIE
高頻電源	13.56MHz
輸出功率	Max1000W	Max1000&1500W
有效電極尺寸	W280xD280mm	W300xD300mm	W400xD375mm
電極	平行平板	2段電極（獨立）	平板（多目的）
反應氣體	聚合控制器2系統（填充氣路另行安裝）
真空泵（標配）	約1000L/min	約1500L/min	1000&1500L/min
安全裝置	門檢測開關、連鎖機構、緊急停止開關、溫度過升防止器等

雅馬拓YAMATO等離子清洗機V1000/V1000X/V1000XS信息由廣州金程科學儀器有限公司為您提供。雅馬拓YAMATO高頻等離子清洗機表面清潔機

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