德國普發(fā)PFEIFFER小型復(fù)合軸承渦輪分子泵

允許的最高徑向磁場

4 mT

冷卻方法，可選

水
空氣（強(qiáng)制對(duì)流）

冷卻水流量

75 l/h

冷卻水溫度

5-25 °C | 41-77 °F | 278-298 K

冷卻類型

自然對(duì)流

啟動(dòng)時(shí)間

1 min

聲壓水平

≤48 dB(A)

安裝方向

隨意

放氣接口

G 1/8"

整體泄漏率

< 2 · 10-8 Pa m3/s | < 1.5 · 10-7 Torr l/s | < 2 · 10-7 mbar l/s

最大耗電量

110 W

最終壓力

< 1 · 10-6 hPa | < 7.5 · 10-7 Torr | < 1 · 10-6 mbar

最終轉(zhuǎn)速下的氫氣流量

55 hPa·l/s

最終轉(zhuǎn)速下的氮?dú)饬髁?/span>

9.2 hPa·l/s

氫氣抽氣速度

28 l/s

氫氣的壓縮比

2 · 102

氦氣在最終轉(zhuǎn)速下的氣流量

55 hPa·l/s

氦氣的壓縮比

3.5 · 102

氬氣在最終轉(zhuǎn)速下的氣流量

0.83 hPa·l/s

氬氣抽氣速率

63 l/s

氬氣的壓縮比

2 · 106

氮?dú)獾膲嚎s比

1 · 106

用于氮?dú)獾某闅馑俣?/span>

64 l/s

電子驅(qū)動(dòng)單元

TC 110

電子驅(qū)動(dòng)單元安裝類型

集成電子驅(qū)動(dòng)單元

電流最大值

4,6 A

電源包的位置

外部電源包

轉(zhuǎn)速 ± 2 %

90,000 rpm | 90,000 min-1

轉(zhuǎn)速可變化

50 – 100 %

軸承

混合

輸入電壓

24 V DC (±10 %)  

連接法蘭（入口）

DN 63 ISO-K

連接法蘭（出口）

DN 16 ISO-KF/G ?"

適用于氮?dú)獾那凹?jí)真空最大值

4 hPa | 3 Torr | 4 mbar

重量

2.2 kg | 4.85 lb

防護(hù)等級(jí)

IP44
類型 12