薄膜制備旋涂機

廣州金程科學儀器公司供應的薄膜制備旋涂機，是一種薄膜制備設備，轉速穩定、啟動迅速，旋涂均勻，操作簡單，結構緊湊實用，為實驗室提供了理想的解決方案。

旋涂機原理：

旋涂機 (spin  coater)是一種薄膜制備設備。 在高速旋轉的基片上，滴注各類膠液，在離心力 作用下，使膠液均勻地涂覆在基片表面上形成均 勻的薄膜。廣泛應用于微電子、半導體、新能源、 化工材料、生物材料、光學，硅片、載玻片，晶片， 基 片 ，ITO 導電玻璃等工藝制版表面涂覆等。

旋涂機應用領域：

半導體器件制備： 制備晶體管、太陽能電池、光伏器件等半導體器件的電極、介質和敏感層材料。

光電子器件制造： 制備液晶顯示器、OLED  顯示器、LED 器件等光電子器件的薄膜材料。

生物醫學傳感器制造：生物醫學傳感器的敏感材料，如蛋白質、 DNA 和細胞等。

納米材料制備：制備納米粒子、納米線和納米薄膜等材料，其制備過程對材料結構和形貌具有一定的控制作用。

旋涂機特點：

◆ 采用閉環控制伺服電機，數字式增速信號反饋，速勻準確，壽命長，保證勻膠均勻。

◆ 7寸全彩中英文互動操作觸摸屏，智能程序化可編程操控顯示，標配10個勻膠梯度階段(速度和時間梯度設置),可 選配20個可編程程序，每個程序下可設置10個勻膠梯度階段，最多100個階段。

◆ 內置水平校準裝置，最大限度的保證旋涂均勻，可對大小不同規格的基片進行旋涂。

◆ 多重安全保護

電磁安全開關，蓋子打開卡盤停止，保證安全；

蓋子自鎖功能，防止飛片蓋zi彈開傷人；

雙重安全上蓋，聚四氟嵌鑲鋼化玻璃，避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人，最大限度保證實驗人員安全。

◆ 樣品托盤卡口和樣品托盤之間三重密封安全保護，有效降低電機進膠的風險。

◆ 一機兩用，根據不同樣品可選真空吸盤和非真空卡盤兩種旋涂方式。

◆ 符合人體功能學的水平取放樣品旋涂托盤設計，取放樣品更方便。

◆ 不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體，旋涂腔體采用PTFE 材料。旋涂托盤采用聚丙烯 (NPP-H)  材料，耐酸堿防腐蝕，保證儀器在苛刻條件下仍能正常運行。

◆ 上下雙腔體設計，較大的上腔體便于擦拭去除膠液，錐形下腔體結構設計便于收集膠液，并帶廢膠收集裝置。

◆ 可選氮氣吹掃、氮氣保護，自動滴膠或簡易滴膠裝置，提供更多的操作便利性。

◆ 適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs,GaN,InP等多種材料。

旋涂機技術參數：

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